台阶仪

品牌、型号： Bruker Dektak XT 

放置地点：工学园1-B107M 

联系方式：吕老师 lvxue3@mail.sysu.edu.cn  

主要配置：低惯量 LIS 3 探针传感器；金刚石探针2 μm；手动 / 机动 XY 载物台；Vision64 64 位分析软件。  

主要技术指标：垂直范围：1 mm；垂直分辨率：1 Å（6.55 μm 量程）；台阶重现性：<5 Å（1 σ，1 μm 台阶）；探针力：标准 1～15 mg，低力 0.03～15 mg；扫描长度：55 mm；最大样品厚度：50 mm。  

主要应用范围：用于薄膜厚度、台阶高度、表面粗糙度等微观几何参数测量。  

设备预约链接： https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=9003 

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