场发射扫描电镜

品牌、型号：日立 SU5000

放置地点：工学园1-B108A

联系方式：刘老师 liuj926@mail.sysu.edu.cn

主要配置：电子枪：热场发射；探测器：背散射（BSE）、二次电子（SE）；配套布鲁克ESD、EBSD和EBL。

主要技术指标：在高真空模式下分辨率可达1.2 nm @ 30 kV，最大样品尺寸直径 ≤ 100 mm，高度 ≤ 80 mm。

主要应用范围：形貌观察和能谱分析。

设备预约链接： https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=3390

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