高通量台式全自动扫描电镜

品牌、型号：赛默飞 Phenom XL

放置地点：工学园1-323

联系方式：金老师 jinmingge@mail.sysu.edu.cn

主要配置：电子枪：CeB₆ 灯丝；探测器：背散射（BSD）、二次电子（SED）；配有EDS能谱系统和三维形貌分析系统。样品仓：100×100 mm 电动样品台，可同时放 36 个样品，抽真空＜30 秒。

主要技术指标：加速电压可选5、10、15 kV，放大倍数最高20万倍；BSD 分辨率优于 8 nm，SED（选配）优于 6 nm。

主要应用范围：形貌观察和能谱分析。

设备预约链接： https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=2301

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