喷金仪-1 配套场发射

品牌、型号：Shinkuu MSP-1S  

放置地点：工学园1-B108A  

联系方式：刘老师 liuj926@mail.sysu.edu.cn  

主要配置：磁控离子溅射仪专为SEM样品制备设计，采用内置永磁体的磁控管型靶电极和浮动式样品台，标配内置旋转泵（10 L/min），设备尺寸为200×350×345 mm、重量14.6 kg。配99.999%铂靶。 

主要技术指标：电源要求AC100V 10A，样品室尺寸内径120 mm×高65 mm，样品台直径50 mm，靶材规格Φ51 mm×0.1 mm，可选Pt、Pt-Pd、Au、Au-Pd、Ag等贵金属靶材。

主要应用范围：用于在非导电样品表面沉积均匀的导电金属薄膜。 

设备预约链接： https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=9002 

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