喷金仪-2 配套飞纳电镜

品牌、型号：SuPro Instruments ISC 150 Ion Sputter Coater  

放置地点：工学园1-323  

联系方式：金老师 jinmingge@mail.sysu.edu.cn  

主要配置：磁控溅射靶头：标配金（Au）靶；触摸屏按键操作界面，可预设溅射时间、功率、真空度等参数。  

主要技术指标：膜厚度：1–20 nm；腔体尺寸：φ150×110 mm。  

主要应用范围：用于在非导电样品表面沉积均匀的导电金属薄膜。  

设备预约链接： https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=9005 

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